АСУ подачи газов в реактор роста полупроводников

Компания «ISKRA Engineering» разрабатывает автоматические системы управления технологическими процессами (АСУ ТП ПГ) подачи и распределения газов для высокотемпературных реакторов и ростовых камер. Мы создаем как простые и сложные автоматические системы для подачи технологических газов на различные потребители (высокотемпературные реакторы роста полупроводников, аналитические комплексы, системы газовой консервации, боксы сварки титана в сплошной среде аргона и прочее), так и полные программные комплексы, управляющие промышленными химическими реакторами.

Некоторые возможности наших АСУ ТП:

• оперативное управление автоматизированными исполнительными устройствами
• сбор, отображение и сохранение во внешней базе данных информации об объекте мониторинга или управления
• выборка и отображение графиков сохраненных данных за любой период
• автоматическое поддержание заданных технологических параметров процесса (температуры, давления, газовых потоков и т.п.)
• возможность создания рецептур и осуществления по ним производственных процессов в автоматическом режиме
• разграничения доступа различных пользователей к объектам системы

Фото и чертежи