Система газобезопасности SGS 7.0

Компания «ISKRA Engineering» проектирует и поставляет систему газобезопасности и газозащиты SGS (Safety Gas System) 7.0 в соответствии с отраслевыми стандартами безопасности Российской Федерации и международной Директивой SEMI (2006/42/EC) «Основные аспекты охраны труда и техники безопасности» в полупроводниковой промышленности .

Система газобезопасности и газозащиты SGS (Safety Gas System) 7.0 предназначена для работы с опасными и очень опасными газами ОСЧ 7.0, например такими как: Арсин(AsH3), Фосфин(PH3), Трихлорид бора (BCl3), Фторид вольфрама(WF6), Бромистый водород (HBr), Трифторид бора (BF3), Дихлорсилан(SiH2Cl2), Хлор(Cl₂), Сероводород (H₂S), Силан (SiH4), Герман (GeH4), Фторуглерод (CF2), Диборан (B₂H6), Аммиак(NH3) и другие включая опасные прекурсоры.

Система безопасности SGS 7.0 включает в себя комплекс технических и организационных средств:

Технические средства газобезопасности и газозащиты

Организационные средства газобезопасности и газозащиты

Индивидуальные и коллективные средства газозащиты

Средства экологической защиты и газобезопасности

Система газобезопасности ISKRA Engineering для очень опасных газов

Система безопасности GAS Safety System 7.0 предназначена для обеспечения защиты персонала и экологической защиты окружающей среды при работе с очень опасными газами и средами такими как Арсин, Диборан, BF3, BCl3 и подобными, в т.ч. опасными прекурсорами.

У нашей компании накоплен большой опыт в построении комплексных систем защиты для очень опасных газов. Система поставляется отдельно или в составе готовых устройств.

Состав системы безопасности GAS Safety System 7.0

Тщательное проектирование с учетом опасных зон и условий эксплуатации
Подбор нужных материалов совместимых с рабочими средами
Монтаж газовых систем на орбитальной сварке с контролем герметичности по гелию и радиографический контроль сварных швов
Управление вентилями баллонов с опасными газами происходит через кинематическую систему дистанционного управления. Электроприводы запрещены
Непрерывный контроль утечек опасного газа
Оснащение контроллерами обеспечивающими логику автоматической защиты по 2м порогам срабатывания
Кнопка аварийной защиты
Оснащение исполнительными системами защиты(огнепреградители, отсечные клапана, звуковая и световая сигнализация, орошение)
Средства индивидуальной и коллективной защиты(фонтан, душ, защита органов дыхания и глаз)
Инструкции по эксплуатации и инструктаж по технике безопасности

Технические средства газобезопасности и газозащиты

Проектирование системы Safety Gas System 7.0	Выбор совместимых материалов, учет опасных зон. Применение механических средств безопасности: огнепреградителей и проч. При проектировании вентиляции учитывается необходимость для горючих и окисляющих газов 10-кратного воздухообмена, а для токсичных газов — 120-кратного. Падение давления должно быть не более 150 Па. Необходимо учитывать локальное выравнивание потенциалов.
Монтаж системы газовой безопасности Safety Gas System 7.0	Высокая квалификация инженеров-монтажников, орбитальная сварка в чистой комнате, поставка газовых рамп и комплектующих в герметичной упаковке с аттестацией чистоты изделия
Контроль герметичности газовой системы	Контроль по гелию и радиографический контроль сварных швов
Контроль чистоты газовой системы Safety Gas System 7.0	Сварочные и монтажные работы производятся в чистой комнате с последующем контролем на счётчике частиц Lighthouse
Кинематический запорный механизм ISKRA-Lock	Механизм(know-how) обеспечивает безопасное открывание/закрывание баллонов с опасными газами без открывания дверей шкафа
Тревожно-побудительная система газобезопасности Safety Gas System 7.0	Автоматика газозащиты включает в себя комплекс датчиков утечек, контроллеров и исполнительных устройств: датчик утечек по НКПР (2 порога) датчик пламени датчик избыточного давления аварийная сигнализация и извещатели исполнительные устройства(аварийная вентиляция, отсечные электромагнитные и пневмоклапана, средства пожаротушения и т.д.)

датчик утечек по НКПР (2 порога)
датчик пламени
датчик избыточного давления
аварийная сигнализация и извещатели
исполнительные устройства(аварийная вентиляция, отсечные электромагнитные и пневмоклапана, средства пожаротушения и т.д.)

Кнопка аварийной защиты	Кнопка аварийного стопа позволяет остановить техпроцесс и подачу газа в любой момент по усмотрению оператора
Настройка и отладка системы Safety Gas System 7.0	Калибровка датчиков утечек опасных газов, проверка работоспособности системы. Периодические регламентные работы.

Логика работы системы газозащиты SGS 7.0 при обнаружении утечки опасного газа

При возникновении утечки опасного газа на уровне 0,5 ПДК или 0,5 НКПВ срабатывает свето-звуковая сигнализация с целью предупреждения персонала, одновременно в диспетчерскую поступает сигнал «Тревога 1» с отображением места и времени утечки;
При концентрации утечки более 1,0 ПДК или 0,8 НКПВ дополнительно происходит автоматическое отключение подачи газов из баллонов и от магистралей, включается аварийная вентиляционная система, в диспетчерскую поступает сигнал «Тревога 2»;
При одновременном срабатывании датчиков пламени и избыточного давления на диспетчерский пульт поступает сигнал «АВАРИЯ», включается орошение и другие средства пожаротушения;
Информация о месте возникновения аварийной ситуации передается на диспетчерский пункт с возможностью архивации всех критических событий.

Применение в технологическом процессе опасных газов (взрыво-, пожароопасные и самовоспламеняющиеся, токсичные и коррозийные газы) создает в зависимости от свойств этих газов опасность для персонала и окружающей среды, для производственного оборудования. Меры, предупреждающие аварийные ситуации SGS 7.0, связанные с использованием опасных газов, должны быть приняты на всех этапах создания и эксплуатации производства.