Установки глубокой очистки технологических газов
Очистители инертных и технологических газов до долей ppm и ppb.
Компания «ISKRA Engineering» поставляет высокоэффективные системы очистки технологических газов Ф-9 до уровня UHP 9.0 на базе технологий катализа/адсорбции и геттера .
Поставляемые установки и фильтры разработаны специально для получения газов сверхвысокой чистоты UHP 9.0, таких как азот, аргон, гелий, водород, кислород и т.д., а также специальных газов, таких как гидридный газ, диоксид углерода и т.д. Газоочистители серии Ф-9 могут удалять в технологических газах такие примеси, как H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, C 2-С12 и т.д. с концентрацией менее одной части на миллиард ( ppt ) при скорости потока от 1 мкм до 20000 Нм 3 / ч.
Фильтры и установки Ф-9 успешно замещают аналогичное оборудование Entegris и MOTT для полупроводниковых и аэрокосмических отраслей промышленности.
Наша компания обеспечивает поставку, пусконаладочные работы, гарантийный и пост гарантийный сервис, обеспечивает ЗИПом по необходимости.
Технологические возможности систем глубокой очистки газов Ф-9
| Артикул | Фильтруемый газ | Технология очистки технологических газов | Газовый поток | Целевые примеси на выходе, ≤1 ppb(ppt) |
|---|---|---|---|---|
| Ф-9A | N2, Ar | Адсорбер | 10-20000 м3/час | H2O, O2, CO, CO2, H2, С2-С12 |
| Ф-9КА | N2, Ar | Катализ и Адсорбер | 10-10000 м3/час | H2O, O2, CO, CO2, H2, С2-С12, CH4 |
| Ф-9Г | N2 | Геттер | 1 л/мин-20 м3/час | H2O, O2, CO, CO2, H2, С2-С12, CH4 |
| Ф-9Г5 | Ar, He Ne, Kr, Xe | Геттер | 1 л/мин-600 м3/час | H2O, O2, CO, CO2, H2, С2-С12, CH4, N2 |
| Ф-9АГ | Ar | Адсорбер и Геттер | 1 л/мин-300 м3/час | H2O, O2, CO, CO2, H2, С2-С12, CH4, N2 |
| Ф-9АА | O2, Air(CDA) | Адсорбер | 10-4000 м3/час | H2O, CO2, С2-С12, H2 |
| Ф-9АА2 | Воздух ОСЧ Air(CDA) | Адсорбер | 10-10000 м3/час | H2O, Конденсирующаяся органика, Неконденсирующаяся органика, Летучие кислоты, Летучие основания, Тугоплавкие соединения |
| Ф-9АС | CO2 | Адсорбер | 10 -1000 м3/час | H2O, Конденсирующаяся органика, Неконденсирующаяся органика, Летучие кислоты, Летучие основания, Тугоплавкие соединения |
| Ф-9КАО | O2 | Катализ и Адсорбер | 10 -1000 м3/час | H2O, CO, CO2, H2, С2-С12, CH4 |
| Ф-9ГН | H2 | Геттер | 1 л/мин-30 м3/час | H2O, O2, CO, CO2, С2-С12,N2 |
| Ф-9АН | H2 | Адсорбер | 10 -4000 м3/час | H2O, O2, CO, CO2, H2, С2-С12 |
| Ф-9АГН | H2 | Адсорбер и Геттер | 10 -300 м3/час | H2O, O2, CO, CO2, H2, С2-С12, CH4, N2 |
| Ф-9КН | H2 | Криогеника | 30 -1000 м3/час | H2O, O2, CO, CO2, H2, С2-С12, CH4, N2, Ar |
| Ф-9ГС | CH4 | Геттер | 1-30 л/мин | H2O, O2, CO, CO2, С2-С12,N2 |
Системы глубокой очистки технологических газов
На сегодняшний день лидером в области глубокой фильтрации технологических газов является компания Entegris с возможностями до ppt.
Предлагаемые системы позволяют производить глубокую очистку технологических газов до 0,5 ppm
Очистка газов
Поставляем установки очистки инертных технологических газов до уровня 0,5 ppm суммарного количества всех вредных примесей. В комплектации с финишными каталитическими фильтрами — до уровня 1 ppb. Срок службы фильтров до 15 лет.
| Параметры | Эпишур-А 100 СЛ | Эпишур-А 12 СЛ | Эпишур-А 04 СЛ | Эпишур-А 33 СЛ | Эпишур-А 21 (212; 204; 232) СЛ |
|---|---|---|---|---|---|
| Производительность, max л/мин | 10 | 30 | 100 | 500 | 70-500 |
| Предполагаемый уровень загрязнения газа на входе, ppm | ≤ 50 | 70-150 | 100-300 | 300-1000 | 70-1000 |
| Уровень загрязнения газа на выходе (базовое исполнение устройства), ppm | < 0,5 | < 0,5 по объёмной доли влаги | |||
| Уровень загрязнения газа на выходе (с использованием фильтров финишной очистки), ppt | <100 по H2 O, O2, CO, CO2, H2 (для очистителей азота и аргона). Фильтрация от механических частиц 0.003 мкм | — | |||
| Фильтрация от механических частиц, мкм | ≥1 (≥ 0,01 по отдельному запросу) | ||||
| Время выхода в рабочий режим, мин. | 15 | 15 | 30 | 60 | 7 |
| Потребляемая мощность в рабочем режиме, кВт | ≤1 | ≤1 | ≤2 | ≤3 | ≤1 |
| Масса, кг | 30 | 40 | 57 | 190 | Стандартные корпуса Эпишур-А 12; 04; 33СЛ |
| Габаритные размеры, мм | 750x420x 320 | 730x590x 360 | 1130x610x390 | 1750x740x680 |
Фото и чертежи
Опишите задачу
Инженер перезвонит, уточнит параметры и подготовит предложение. ТЗ или опросный лист можно отправить на почту.
- Телефоны
- +7 812 920-04-12
+7 911 167-07-72 - Почта
- info@iskra-tec.ru
- Режим работы
- Пн–Пт, 9:00–18:00