Вакуумный отжиг

Отжиг — нагрев изделия по заданному режиму в вакууме или защитной атмосфере. После нанесения и легирования он формирует свойства прибора: активирует примеси, снимает напряжения, образует омические контакты и силициды, уплотняет плёнки и удаляет из них газы.

Задачи

• отжиг кремниевых пластин и молибденовых дисков силовых приборов
• вжигание контактов и формирование силицидов
• кристаллизация и уплотнение осаждённых слоёв
• обезгаживание деталей вакуумных и электровакуумных приборов
• пайка в вакууме и восстановительной атмосфере

Из чего состоит установка

• кварцевый реактор с герметичными фланцами или металлическая камера
• нагреватель с термоизоляционной футеровкой и многозонным регулированием
• воздушное охлаждение нагревателя, водяное охлаждение фланцев
• откачной пост — форвакуумный и высоковакуумный насосы
• программный регулятор температуры с записью режима

Атмосфера

Кроме вакуума, отжиг ведут в азоте, аргоне или формир-газе (азот с 3–5 % водорода). Точка росы и содержание кислорода влияют на окисление поверхности, поэтому газ очищают и осушают. При работе с водородом нужны продувка перед нагревом, контроль утечек и сжигание или разбавление выхлопа.

Вакуумные камеры и печи на заказ — отдельная страница.

Установка

1. Высоковакуумная печь отжига силовых приборов

   Отжиг кремниевых пластин и молибденовых дисков Ø 50–105 мм.

   • кварцевый реактор Ø 180 мм с двумя герметичными фланцами
   • нагрев до 1200 °C
   • воздушное охлаждение, водяное охлаждение фланцев, откачной пост

Газовую часть установки проектируем и изготавливаем сами: газовые панели, регуляторы расхода, газобаллонные шкафы, очистку выхлопа и газобезопасность.