Термическое испарение

Материал нагревают в высоком вакууме до испарения, поток пара летит прямолинейно и конденсируется на подложке. Это самый простой и щадящий метод: частицы приходят на подложку с малой энергией и не повреждают её, поэтому им наносят органические полупроводники и тонкие металлические контакты.

Испарители

• резистивные лодочки и спирали из вольфрама, молибдена, тантала — для металлов: Al, Ag, Au, Cr, In
• тигли с нагревателем и эффузионные ячейки — для органических материалов и солей, где важна стабильная низкая скорость и точная температура
• несколько испарителей в одной камере — для соиспарения и многослойных структур

Что наносят

• металлические электроды и контакты
• слои органических светодиодов и солнечных элементов
• LiF, MoO₃ и другие инжекционные и буферные слои
• оптические и декоративные покрытия

Из чего состоит установка

• камера с откачкой до 10⁻⁴–10⁻⁵ Па
• испарители с источниками тока и заслонками
• кварцевые датчики скорости и толщины для каждого источника
• держатель с вращением, теневые маски
• для органики — стыковка с перчаточным боксом, чтобы образцы не контактировали с воздухом

Газовая часть

Сам процесс идёт без газа, но установке нужны азот для напуска камеры и очищенный инертный газ для перчаточного бокса с контролем влажности и кислорода на уровне единиц ppm.

Установка

1. Система нанесения тонких плёнок

   Три камеры, шесть источников. Образцы загружаются и выгружаются через перчаточный бокс в инертной атмосфере — для органической электроники, где материалы портятся на воздухе.

   • магнетроны постоянного тока и ВЧ
   • ионная очистка и ионно-лучевое нанесение
   • термическое и электронно-лучевое испарение

Газовую часть установки проектируем и изготавливаем сами: газовые панели, регуляторы расхода, газобаллонные шкафы, очистку выхлопа и газобезопасность.