Подача прекурсоров

Система подачи прекурсоров ISKRA—PSS/N отвечает самым высоким требованиям эффективности и безопасности. Система ISKRA—PSS/N может подавать паровую фазу из твердых или жидких прекурсоров, из одного или нескольких барбатёров или баблеров. Например силаны, хлориды и металл алкилы, т.е. SiCl4, TiCl4, SiHCl3, HMDSO, DEZ, TMA или металлорганические соединения ALCl3, HfCl4, ZnCl4 можно безопасно подавать в паровой фазе в реактор или ростовую камеру. Каждая конкретная система разработана с учетом особых требований ее применения. Система ISKRA—PSS/N поставляется с автоматической системой управления включая продувку газовых линий до и после смены питающих баллонов при сохранении ручного режима эксплуатации. Для применений, где прерывание потока прекурсоров недопустимо, доступна версия с питанием от 2 и более барботёров с горячей заменой, т.е. когда первый баблер опустеет, система автоматически переключится на второй баблер. Бпарбатёры нужного объёма размещается в шкафу системы ISKRA—PSS/N и подключается к трубопроводу. Клапаны имеют пневматический привод и управляются автоматически локальной системой управления АСУ ТП.

Алгоритм работы АСУ ТП системы ISKRA—PSS/N При каждом новом подключении баблера к системе, сначала автоматически в трубопроводах устанавливается заданное давление и проводится испытание на падение давления. Если этот тест завершен успешно, начинается цикл продувки насосом для очистки соединительных трубок (подача азота/аргона с последующим откачиванием, повторяющимся несколько раз). Для улучшения процедуры продувки во всей системе используются мембранные клапаны. После завершения цикла насос-продувка новый контейнер готов к выдаче подключенным потребителям. После того, как контейнер опустеет, сначала оставшийся прекурсор, все еще находящийся внутри соединительных трубок, выталкивается обратно в контейнер. Клапаны, используемые в этой секции, представляют собой 3-ходовые клапаны с минимальным мертвым пространством для улучшения цикла продувки. Далее следует цикл продувки насосом всех соединительных трубок. Пока выполняется автоматическая последовательность продувки насоса, ручные клапаны контейнера должны открываться и закрываться. Оператор получает указание сделать это с помощью сообщений на сенсорной панели АСУ ТП. Контейнер ставится на весы. Оставшийся прекурсор постоянно контролируется с отображением на мониторе и фиксацией на жёстком диске АСУ ТП. Предварительный сигнал тревоги отображается на мониторе оператора, когда уровень в контейнере падает до низкого уровня. Второй сигнал тревоги отображается, когда контейнер достигает пустого уровня. Затем система подачи с двумя контейнерами автоматически переключается на второй контейнер, ожидающий в горячем режиме готовности.

Система размещается в обычном стальном панельном корпусе или в огнестойком защитном шкафу (выдерживает воздействие внешнего огня в течение 90 минут). Это означает, что систему можно установить в лаборатории или на цеховом рабочем месте. Шкафы подключены к вытяжной системе, а также могут снабжаться принудительной вентиляцией. Для повышения безопасности системы могут быть оснащены газоанализатором утечки или детектором дыма, в зависимости от используемого прекурсора и тревожной сигнализацией. Для обеспечения лучшего качества все газовое оборудование химполируется и пассивируется Si-VD кремнием для достижения превосходных инертных качеств. Вся газовая система подвергается тщательному контролю герметичности на гелиевом течеискателе с отметкой в паспорте. Безопасность эксплуатации обеспечивается автоматической системой контроля и безопасности ISKRA-ВПБ24.

Вас могут заинтересовать