Прекурсор TEMAH

Синонимы

Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV), Hafnium tetrakis[ethyl(methyl)azanide]

Формула :

C₁₂H32HfN4

Тетракис(этилметиламидо)гафний(IV) (TEMAH) — бесцветная жидкость, чувствительная к воде и воздуху. Замерзает при -50 °C и кипит при температуре около 78 °C при 0,1 Торр.

Приложение: TEMAH используется в качестве прекурсора для атомно-слоевого осаждения (ALD) тонких пленок оксида гафния (HfO 2 ). Поскольку HfO 2 имеет высокую диэлектрическую проницаемость 16-25, он обычно используется в качестве диэлектрической пленки в производстве полупроводников.

TEMAH идеально подходит для ALD из-за его низкой температуры кипения и его реакционной способности с водой и озоном. Что наиболее важно, его адсорбция является самоограничивающейся на ряде подложек, включая стекло, оксид индия-олова (ITO) и Si(100). Исследователи также использовали его для осаждения тонких пленок HfO 2 на 2D-материалы, такие как MoS 2 . TEMAH также является полезным прекурсором в синтезе сегнетоэлектрических оксидов циркония гафния и тонких пленок Hf₁ -xZrxO 2 на фототранзисторах MoS 2 . Исследователи также осаждали тонкие пленки нитрида гафния (Hf₃ N₄ ) методом ALD, попеременно используя импульсы TEMAH и аммиака.

Физико-химические свойства TEMAH

Наименование	Значение
Номер CAS	352535-01-4
Молекулярная масса	410.90
Чистота	≥99,99% на основе следов металлов
Агрегатное состояние	Жидкость
Цвет	Светло желтый
Активно реагирует	Воздух, влага
Температура вспышки	11°C (52°F)
Температура кипения	79 °C/0.1 mm
Сигнальное слово	Опасно
Пиктограммы

Формы поставки TEMAH

Форма отпуска	Продукт
ТEМАH	99,99%
Баллон 50 мл.	TEMAH 5 мл
Баллон 75 мл.	TEMAH 25 мл
Баллон 150 мл.	TEMAH 100 мл

Рекомендованная тара из ЭХП стали AISI 316L- баллоны и баблеры

Паспорт качества TEMAH. Pdf

Паспорт безопасности TEMAH. Pdf