Цифровая газораспределительная панель

Газораспределительная панель выполнена в коррозионно-стойком исполнении, использованы трубы и арматура из нержавеющей стали 316L с электрохимической полировкой, для разъемных соединений использованы фитинги VCR 1/4″ с никелевыми прокладками. Подаваемые газы — азот, водород, хлороводород, аммиак, силан. Количество выходных каналов — 8. Цифровое управление по стандарту DeviceNet.

Что стоит за решениями

• Нержавеющая сталь 316L с электрохимической полировкой — гладкая пассивная поверхность меньше удерживает влагу и частицы, это важно для хлороводорода и аммиака, которые разрушают сталь в присутствии воды;
• фитинги VCR 1/4″ с никелевыми прокладками — металлическое уплотнение без полимеров, герметичное и стойкое к коррозионным газам;
• восемь выходных каналов — одна панель распределяет газ сразу на несколько потребителей;
• цифровое управление по DeviceNet — клапаны и датчики панели подключаются к системе управления установкой по одной шине, без отдельной проводки на каждый сигнал.

Газы

Азот, водород, хлороводород, аммиак и силан — сочетание горючих, токсичных, коррозионных и пирофорных газов, типичное для производства полупроводников. Такие панели обычно размещают в вентилируемых шкафах с контролем утечек.

Похожая задача?

Посмотрите газовые панели и рампы и газобаллонные шкафы или опишите задачу в форме ниже.