ISKRA Отправить запрос

Фильтр ISKRA-МКФ

Компания «ISKRA Engineering» поставляет разборные и неразборные металлокерамические фильтры (МКФ), предназначенные для сверхтонкого фильтрования химически инертных газов, например воздуха, азота, водорода, кислорода и др. Срок выполнения заказа – 150 дней.

Модель фильтраРекомендуемый расходЭффективность очистки
ISKRA-МКФ-50до 3 нм3/ч (50 нл/мин)не менее 99.99999 % для частиц размером не менее 0.01 мкм
ISKRA-МКФ-150от до 3 нм3/ч (50 нл/мин) до 9 нм3/ч (150 нл/мин)
ISKRA-МКФ-330от до 9 нм3/ч (150 нл/мин) до 20 нм3/ч (330 нл/мин)
ISKRA-МКФ-660от до 20 нм3/ч (330 нл/мин) до 40 нм3/ч (660 нл/мин)

Данные модели фильтров рекомендованы к использованию в производстве интегральных схем для абсолютного удаления из газов (за исключением фосфина – РН3, окиси углерода – СО и озона – О3) частиц размером не менее 0.01 мкм.

Технические характеристики

ПараметрISKRA-МКФ-50ISKRA-МКФ-150ISKRA-МКФ-330ISKRA-МКФ-660
площадь фильтрующей поверхности, см21040140280
давление на входе фильтране более 1.0 МПа (10 кгс/см2)|
класс фильтрованияU 16|
температураот +5 до +150° С|
относительная влажностьне более 80 %|
прочность к воздействию перепада давлений в прямом и обратном направлениидо 0.6 МПа (6 кгс/см2)|
фильтрующий элементникель|
корпуснержавеющая сталь|
локальная негерметичность корпусане более 1Е-3 л*мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (1.00±0.05) МПа [(10±0.5) кгс/см²] и температуре (25±10) °С|
присоединительные размерыпо требованию заказчика|

Обработка внутренних поверхностей корпуса:

  • Электрохимическое полирование.

Подготовка к работе:

  • Подготовка к работе и испытаниям в чистых помещениях класса 100.

Упаковка:

  • Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом аргоном или азотом.

Условия эксплуатации

  • Температура окружающей среды от +5 до +35° С. Пространственная ориентация – произвольная.

Рекомендуемая периодичность замены:

  • Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм.

Заказать фильтры ISKRA-МКФ

Фото и чертежи

Опишите задачу

Инженер перезвонит, уточнит параметры и подготовит предложение. ТЗ или опросный лист можно отправить на почту.

Режим работы
Пн–Пт, 9:00–18:00
Перезвоним в рабочее время