Плазменный скруббер

Спецификация поставки плазменного скруббера СК-007

Сертификация CE SEMI 2

Модель	СК-007/400	СК-007/800
Производительность(л/мин)	400	800
Габариты (мм)	800 х 850х1800	800 х 850х1800
Вес (кг)	220	220
Блокировки	Поток, температура и т.д.
Целевые газы и компоненты	Cl₂, BCl3, HCl, HF, NH3, SiH2Cl2, HBr, POCl3 и т.д. Адсорбционное наполнение зависит от целевых компонентов
Эффективность фильтрации	≥99,9%
Ресурс работы	≥10000 часов
Срок капремонта	≥5000 часов
Регламентный контроль	≤4 часа
Электропитание	380 В, 3 фазы, 15 кв
Снабжение воздухом	1/2” 50- 300 л/мин
Снабжение азотом	1/2” 1- 100 л/мин
Снабжение водой	½”-5 л/мин
Охлаждение водой	½”-10-25 л/мин
Вход	Газ 40 мм фланец, 1-4 порта
Выход	Газ 100 мм фланец, 1 порт
Вытяжка вентиляции	Ø 100 мм

Опишите задачу

Инженер перезвонит, уточнит параметры и подготовит предложение. ТЗ или опросный лист можно отправить на почту.

Телефоны

Почта

Режим работы

Пн–Пт, 9:00–18:00