Баллоны-баблеры ISKRA-B90
Компания «ISKRA Engineering» предлагает баблеры ISKRA-BL-SS для жидких прекурсоров для CVD и ALD ёмкостью 150, 300, 600, 1000 или 3000 мл. по запросу.
Назначение
Баблеры ISKRA-BL-SS применяются для транспортировки и доставки жидких прекурсоров в паровой фазе в реакционные камеры CVD и ALD.
Техническое описание
Баллон баблер выполняется из химполированной нержавеющей стали AISI 316L с двумя игольчатыми клапанами из нержавеющей стали с трубными фитингами 1/4 дюйма, которые позволяют газу-носителю проходить через жидкость для эффективного испарения. Герметичный сосуд из нержавеющей стали 316 способен выдерживать давление до 0,15 МПа при температуре 250°C.
Пожалуйста, выберите нужный вам баблер 150 мл, 300 мл, 600 мл и 1000 мл на панели выбора продукта.
| Модель | ISKRA-BL-SS-150 | ISKRA-BL-SS-300 | ISKRA-BL-SS-600 | ISKRA-BL-SS-1000 |
|---|---|---|---|---|
| Материал баблера | AISI 316L | AISI 316L | AISI 316L | AISI 316L |
| Давление, МПа | 0,15 | 0,15 | 0,15 | 0,15 |
| Манометр, МПа | -0,1 ~ 0,15 | -0,1 ~ 0,15 | -0,1 ~ 0,15 | -0,1 ~ 0,15 |
| Ёмкость баллона, мл. | 150 | 300 | 600 | 1000 |
| Размеры внутренней части, мм | Ø 45х84 | Ø 45х180 | Ø 70х154 | Ø 70х158 |
| Размеры внешней части, мм | Ø 51×104 | Ø 51×187 | Ø 76×200 | Ø 76×300 |
| Присоединительные фитинги двух игольчатых SS вентилей | VCR 1/4” | VCR 1/4” | VCR 1/4” | VCR 1/4” |
| Габариты с фитингами (ДхШхВ), мм | 130x70x340 | 130x70x440 | 130x90x440 | 130x90x540 |
| Фиксация | Быстрозажим KF-40 с резиновым уплотнительным кольцом — EQ-KF-Clamp-D40 | Быстрозажим KF-40 с резиновым уплотнительным кольцом — EQ-KF-Clamp-D40 | Кронштейн 78-85 мм | Кронштейн 78-85 мм |
| Нагрев греющим чехлом с термопарой до 250° С | ≤ 150 | ≤ 150 | ≤ 250 | ≤ 250 |
| Точность нагрева, ° С | ± 0,1 | ± 0,1 | ± 0,1 | ± 0,1 |
| Указания по применению | После каждого цикла использования баллон должен подвергаться тщательной очистке Не доводите нагрев жидкости до кипения при закрытых вентилях Вы можете заказать компактную и безопасную систему подачи прекурсоров под ключ |
- После каждого цикла использования баллон должен подвергаться тщательной очистке
- Не доводите нагрев жидкости до кипения при закрытых вентилях
- Вы можете заказать компактную и безопасную систему подачи прекурсоров под ключ
| Гарантия | 12 месяцев с пожизненной технической поддержкой |
|---|
Вас может заинтересовать
Барбатёр 1000 мл. для жидких прекурсоров
Барботёр ISKRA — BL — SS -1000 для МТХС
Фото и чертежи
Опишите задачу
Инженер перезвонит, уточнит параметры и подготовит предложение. ТЗ или опросный лист можно отправить на почту.
- Телефоны
- +7 812 920-04-12
+7 911 167-07-72 - Почта
- info@iskra-tec.ru
- Режим работы
- Пн–Пт, 9:00–18:00