Барботёр ISKRA-BL-SS-1000 для МТХС
Барботёр ISKRA-BL-SS-1000 для МТХС отличается надёжностью и высокостабильной подачей прекурсора.
Техническое описание
| Материал барботёра | AISI 316L |
|---|---|
| Ёмкость, мл. | 1000 |
| Скорость подачи прекурсора, л/ч(см3/мин) | 7-30(120-500) |
| Температура внутри барботёра,°С | от +20 до +45 |
| Точность контроля температуры внутри барботёра, °С | ± 0,1 |
| Давление внутри барботёра, бар | 1 |
| Визуальный контроль уровня жидкости | байпасный уровнемер |
| Регулировка подачи газа-носителя | РРГ |
| Автоматизация | датчики полного/пустого барботёра с точностью не хуже 0.5% |
Барботёр конструктивно выполнен в виде сосуда из химполированной стали со съемной крышкой-фланецем, уплотнение с корпусом – либо прокладка типа o-ring из витона (посадка «металл на металл»), либо – фторопластовое кольцо («прокладка в замкнутом объеме»). Барботер имеет три входа: длинная входная трубка, короткая выходная трубка и еще короткая трубка для заливки/заправки с VCR фитингами или под приварку.
Свойства МТХС (CAS #: 75-79-6, UN #: 1250, EINECS #: 200-902-6) :
| МТХС (CH3SiCl3) – кремнийорганическая жидкость, получаемая при ректификации смеси метилхлорсиланов.
График зависимости давления насыщенных паров МТХС от температуры
| агрегатное состояние, внешний вид | бесцветная жидкость с резким запахом |
|---|---|
| формула | CH3SiCl3 |
| молекулярная масса | 149.5 |
| температура кипения | 66°C |
| температура плавления | -90°C |
| относительная плотность (вода = 1) | 1.3 |
| растворимость в воде | вступает в реакцию |
| давление пара, kPa при 20°C | 17.9 |
| удельная плотность паров (воздух = 1) | 5.2 |
| относительная плотность смеси пара и воздуха при 20°C (воздух = 1) | 1.73 |
| температура вспышки | 8°C |
| температура самовоспламенения | 490°C |
| предел взрываемости, % в объеме воздуха | 7.2-11.9 |
| Физические опасности | Пар тяжелее воздуха и может перемещаться по поверхности земли; возможно дистанционное воспламенение |
| Химические опасности | Разлагается при горении. При этом выделяется хлористый водород. Интенсивно реагирует с сильными окислителями. Интенсивно реагирует с водой и влажным воздухом. При этом выделяется хлористый водород. Разъедает металлы. |
| Пожар и взрыв | Очень легко воспламеняется. При пожаре выделяет раздражающие или токсичные пары (или газы). Смеси паров с воздухом взрывоопасны. НЕ использовать открытый огонь, НЕ допускать образование искр, НЕ КУРИТЬ. НЕ допускать контакта с горячими поверхностями. НЕ использовать сжатый воздух для загрузки, выгрузки или обработки. Замкнутая система, вентиляция, взрывозащищенное электрическое оборудование и освещение. |
| Хранение | Обеспечить огнестойкость. Отдельно от окислителей. Прохладное место. Хранить сухим. Хорошо закрывать. |
| Примечания | Бурно реагирует с такими средствами пожаротушения, как вода. Симптомы отека легких часто не проявляются, пока не пройдет несколько часов, и они усугубляются физическими усилиями |
Фото и чертежи
Опишите задачу
Инженер перезвонит, уточнит параметры и подготовит предложение. ТЗ или опросный лист можно отправить на почту.
- Телефоны
- +7 812 920-04-12
+7 911 167-07-72 - Почта
- info@iskra-tec.ru
- Режим работы
- Пн–Пт, 9:00–18:00