Барботёр ISKRA-D100

Компания «ISKRA-Engineering» производит инновационный высокоэффективный барботёр ISKRA-D100 для твёрдых и жидких прекурсоров для CVD и ALD процессов. Барботёр доступен в нескольких конфигурациях в зависимости от ТЗ заказчика.

Источник прекурсоров ISKRA-D100 предназначен для химического осаждения из паровой фазы целевого компонента в ALD производстве конденсаторов High-κ и затворных диэлектрикиков, для производства металлических барьеров и электродов, структур из вольфрама, не содержащих фтора (FFW)

Преимущества барботёра ISKRA-D100

• Данная модель обеспечивает более эффективную доставку паровой фазы прекурсоров из твёрдого состояния целевого компонента при более низких температурах и более стабильно, чем другие импортные испарители, тем самым снижая стоимость процессов ALD и CVD.
• Барботёр ISKRA-D100 совместим как с твёрдыми исходниками перкурсоров так и с жидкими
• Современная конструкция барботёра сводит к минимуму дрейф концентрации химических веществ, обеспечивая более высокую производительность с меньшим временем простоя оборудования
• Обеспечивает более высокий массовый поток при более низкой температуре, чем обычные импортные испарители
• Передовая конструкция сводит к минимуму разложение твёрдого исходного материала от нагрева.
• Поддерживает автоматическое управление на пневматических клапанах и ручное управление на ручных клапанах
• 100% совместимость с импортными газовыми системами
• Высокая надёжность и стабильность работы снижает производственные затраты

Техническое описание

Фото и чертежи