Безопасная упаковка для металлоорганики

Пустые баллоны для МОС и других прекурсоров ОСЧ поставляются подготовленными с финишной консервацией Азотом высокой чистоты 1 ати, влажность не более 1 ppm

После заполнения баллонов чистыми соединениями, баллоны помещаются в защитную тару со специальным наполнением для доставки до дверей заказчику.

Почему металлоорганике нужна особая тара

Металлоорганические соединения и многие прекурсоры для ALD и CVD бурно реагируют с кислородом и влагой, часть из них воспламеняется на воздухе. Даже следы воды в баллоне портят продукт и дают частицы в процессе. Поэтому и пустой баллон, и заполненный требуют подготовки и защиты при перевозке.

Как готовим тару

• пустой баллон или барботёр поставляется законсервированным: внутренний объём заполнен азотом высокой чистоты под избыточным давлением около 1 атм;
• влажность консервирующего газа — не более 1 ppm;
• заполненный баллон укладывается в защитный транспортный контейнер со специальным наполнителем, который гасит удары и удерживает баллон неподвижно.

Перевозка и хранение

• пирофорные вещества относятся к опасным грузам — их перевозят в сертифицированной таре с маркировкой;
• до начала работы не вскрывайте транспортный контейнер без необходимости и храните баллон в прохладном сухом месте;
• подключение к установке ведут при закрытых вентилях, с продувкой линий инертным газом.

Что сообщить

Какое соединение и в каком количестве, тип присоединения к вашей установке, нужна ли только тара или тара с заполнением, куда доставлять.

Пригодится: полированные барботёры · полированные баллоны